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微电子生产车间、机房如何防静电?
发布时间:2008-05-29 09:48:36 作者:安信三通


可根据实际情况的不同,建立不同等级的静电安全区,采用相关的防静电设备进行防静电。
    (1)设置防静电接地系统;
    接地电阻<10W(GJB12058-90:<=100W);多设置接地端;一般要与电器地分置等。


    (2)铺设防静电地板和台垫;
    地板的结构、材料、施工与验收、日常维护、定期监测。


结构:
1、铺设防静电水磨石地面(永久型):一次性全面铺设,可长久安全的防静电。适用于通讯机房、微电子生产厂房、航空航天、生物医药等领域;
2、刷防静电漆:定期粉刷防静电漆,也可达到防静电的目的;
3、工作人员尤其是操作人员的静电防护:着防静电带防静电腕带、服装等;
4、使用防静电器具:如防静电容器、工具等;
5、控制防静电工作区的湿度和净度。

 

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